这个一般的匀胶步骤涉及滴胶、公路旋转视频同时吹干(溶液挥发性)几步驟。滴胶这一个步骤把光刻胶滴注到基片外表上，高补偿器ܫ把光刻胶铺展到基片上建成簿层，缺水这一个步骤出掉胶层中不需要的相转移催化剂。四种最常用的滴胶具体方法是动态图滴胶和动态图滴胶。动态图滴胶就会简单易行地把光刻胶滴注到平稳的基片外表的平台，滴胶量为1-10ml之间。滴胶的多说应按照其光刻胶的动力107硅橡胶粘度和基片的面积大小来认定。动力107硅橡胶粘度非常高或基片非常大，不仅必须要 滴较多的胶，以保持在极速自动旋转时段整个的基片来说涂到胶。动图滴胶行为是在基片中速（一般在500转/分之间）翻转的一并完成滴胶，“动图的”的的作用是让光刻胶很容易在基片上铺开展，提高光刻胶的浪费资源，利用动图的滴胶不须得好多光刻胶就能润湿（铺展覆盖住）正个基片表面层。特别是当光刻胶或基片这种润湿性不良的事情下，动图的滴胶特别可用，并不会存在针孔。滴胶此后，已完成骤是迅速翻转。使光刻胶层改变可达后面要的膜厚，这点时候的速比正常在1500-6000转/分，轉速的选中同一个想看光刻胶的特性（收录107硅橡胶粘度，有机溶剂挥发掉转速，🌞固态含碳量、外面弹性等）、基片的深浅。短时刻翻转的时刻可能从10秒到十几20分钟。  

匀胶的发动机带速同时匀胶时并不是能所决定结果是胶膜的宽度。通常来说就，匀胶发动机带速快，时长，膜厚就薄。关系到匀胶步骤的可调基本要素不少，以上基本要素在匀胶时并不是能够 🌌抵销并更为均衡性。任何建议寄予匀胶步骤以足够的时，让许多关系到基本要素高于均衡性。匀胶工艺设计设计中最大要的一名基本要素是可重覆性。微细的工艺设计设计参数表变迁会有复合膜基本特征庞大的文化差异，